金融界在2023年3月8日发布消息,据国家知识产权局的信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司已成功获得一项名为“等离子增强原子层沉积设备”的专利授权，该专利的授权公告号为CN 222557054 U，申请日期为一年前的2024年2月。 详细介绍了该等离子增强原子层沉积设备的设计和功能，该设备包括等离子管、电极组件和气体输入管路，等离子管由多个等离子支管组成，这些支管沿设备高度方向依次排列，电极组件和气体输入管路均设有与等离子支管相对应的组别，以确保不同等离子支管内的前驱体电离程度可分别控制，这种设计有助于确保同一批次晶圆上的沉淀物薄膜达到相同的厚度，大大提高了产品的均匀性。 天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司是一家在青岛市成立的企业，主要从事计算机、通信和其他电子设备制造业，该公司注册资本达1006720.789212万人民币，通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司对外投资了2家企业，参与了166次招投标项目，拥有15条商标信息和576条专利信息，该企业还拥有55个行政许可，展现了其强大的实力和丰富的业务范畴。